• 深圳市金徠技術有限公司

    ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

     聯系電話:13538058187 

    等離子去膠機(灰化機)

    應用范圍:

    ? · 去除光刻膠

    · 晶圓打膠

    · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

    · 去除 SU-8

    · 清潔和表面活化

    · 化學微量分析中的低溫材料灰化

    · 過濾器和濾膜的清潔

    · 環氧樹脂去除

    等離子去膠機是深圳金徠針對小體積產品,小批量生產和實驗室晶圓處理設計,適用于晶圓級和3D封裝應用的理想設備。等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機污染去除等。


    產品規格



    型號

    JL-RR05

    JL-RR10

    JL-RR15

    高頻輸出功率

    500W

    500W

    1000W

    頻率

    13.56MHz

    13.56MHz

    13.56MHz

    檢測功能

    氣壓檢測、 門檢測

    氣壓檢測、 門檢測

    氣壓檢測、 門檢測

    真空泵

    干式真空泵

    干式真空泵

    干式真空泵

    氣體控制

    高精度質量流量計(MFM)

    高精度質量流量計(MFM)

    高精度質量流量計(MFM)

    質量流量計精度

    +/-0.2% F.S

    +/-0.2% F.S

    +/-0.2% F.S

    冷卻方式

    風冷

    風冷

    風冷

    反應腔

    石英 D160× 220 mm

    石英 D240× 260 mm

    石英 D240× 460 mm

    反應氣體

    路系統(可選)

    路系統(可選)

    路系統(可選)

    氣體流量

    0~300SCCM

    0~300SCCM

    0~500SCCM

    外形尺寸

    438× 520× 760mm

    438× 520× 760mm

    650× 650× 650mm

    重量

     60kg

     60kg

     70kg

    輸入電源

    單相 220V, 50/60Hz  8A

    單相 220V, 50/60Hz  8A

    單相 220V, 50/60Hz  8A


    應用范
     ? 去除光刻膠
     晶圓打膠
     濕法刻蝕前的晶圓清潔
     去除 SU-8
     清潔和表面活化
     化學微量分析中的低溫材料灰化
     過濾器和濾膜的清潔

    聯系方式



    詳情請撥打:135-3805-8187 電話咨詢 (微信同號)

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    應用范圍:

    ? · 去除光刻膠

    · 晶圓打膠

    · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

    · 去除 SU-8

    · 清潔和表面活化

    · 化學微量分析中的低溫材料灰化

    · 過濾器和濾膜的清潔

    · 環氧樹脂去除
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